这就好比冲洗照片的时候,利用底片将影像复制在相片上。
所以,光罩要尽可能的没有瑕疵。
否则生产出来的成品芯片,就会出现一定程度的不良率。
一般来说,光罩是由石英玻璃、金属铬、感光胶这三种材质构成的。
用石英玻璃作为底衬、在上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料。
然后再把已经设计好的电路图形,通过电子激光设备,曝光在感光胶上。
这样,被曝光的区域,就会产生显影,并在金属铬的上面,形成电路图形,成为类似相机底片的光掩膜版。
然后就能成为光刻机当中的一部分了。
这一结构的设计过程,并不算难。
毕竟这三种所需用到的材料,龙国都有。
很快,林凡就设计好了一款可供使用的光罩。
紧接着,林凡就将目光看向了扫描镜。
扫描镜的全名是扫描电子显微镜,是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的观察手段。
利用很窄的聚焦高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息进行收集、放大之后,再成像,就可以达到对物质进行微观形貌表征的目的。
目前研发的新式扫描镜,分辨率可以达到1纳米!
放大倍数可以达到30万倍,甚至40万倍!buwu.org 梦幻小说网
这正是林凡所需要的。
但想要将其用在光刻机上,仍需要一点小小的改造。
“好了,这样就可以了。”
林凡将基于新式扫描镜的修改方案,在纸上标注清楚之后,又将目光看向了等离子体控制器。
准确的说,这并不是一种固定的装置,而是一种技术。
等离子体反馈控制技术。
这项技术不仅被用在光刻机的研发领域,同样也被用在可控核聚变装置的研发领域!
狭义的托卡马克等离子体反馈控制,涉及到的主要控制对象是等离子体电流,其数值通常在100ka到10ma之间,控制进度在1k左右。
这项技术同时又涉及到三个方面。
一,传感器技术。
二,位形反演和控制算法。
三,执行器技术。
简单来讲,就是对于等离子体电流位置和形状的控制。
一般是采用罗氏线圈、磁探针和磁通环作为传感器。
将其获得到的数据,进行复杂的拟合,以及位形反演。
然后通过实时获得的等离子体的电流位置和形状,与目标值进行比对。
再经过单输入单输出,或是多输入多输出控制算法,获得反馈控制的控制命令,并输入执行器,控制极向场线圈的电流。
从而实现对等离子体电流的位置以及形状的控制。
这一步,通常采用6脉波,或是12脉波的晶闸管整流器作为执行器。
执行周期通常在0.8毫秒和3毫秒之间。
对于垂直位移的控制,则是采用响应速度更快的,基于IGBT技术的H桥电源作为执行器。
执行周期通常小于0.2毫秒。
可以说,想要实现这一技术,难度相当之高。
甚至不亚于自己手搓一台半成品的可控核聚变装置。
“呼,太难了。”
林凡瘫坐在椅子上,脑中不停的回忆着自己之前研发这一技术的过程。
仔细想想,当初自己刚刚重生到这个世界的时候,之所以没有选择立刻返回科研一线,或许就是因为自己也想像普通人那样,拥有知难而退的权利吧。
“真是的,我什么时候变得这么矫情了?”
稍微歇了一会儿,又补充了一点水分之后,林凡继续端坐在电脑桌前,开始设计一款可供使用的等离子体控制器。
这时,林凡卧室的房门被人轻轻推开了,苏莹雪从门缝处瞄了一眼,看到林凡一副认真的模样,她又轻手轻脚的将房门关上。
她其实早就到家了,只是不想打扰林凡,才一直没有喊他吃饭。
看了一眼时间,已经是十一点了。
苏莹雪很是好奇,林凡今天为什么没有像往常那样早早休息。
但她没问,也不想因此扰乱林凡的思绪。
来到厨房,苏莹雪将热了一遍又一遍的糖醋排骨,放进微波炉里,然后在冰箱上面贴了一张便签,上面写着‘饭在微波炉里,饿了就吃’。
做完这些之后,苏莹雪就回到了她的那间卧室,躺在床上,本想睡觉,可她忽然想起下午上课的时候,同桌跟她讲的那件事情。
“总不能他还真的仿造了一艘航母吧?”
苏莹雪有些不敢相信,可她还是忍不住的打开了手机浏览器,仔细搜索一下。
顿时,呈现在她眼前的各种相关新闻报道内容,令她感到目眩!也更让她感到惊讶!
“一个连日常生活都不能自理的白痴弟弟,居然真的仿造了一艘……等等!十万吨级的核动力航母?!”
“天啊!这还是我认识的那个林凡吗?”
苏莹雪一时难以相信她的眼睛。
反复看了几遍报道中的内容之后,苏莹雪激动的从床上坐了起来。
尤其是在看到林凡已经被大名鼎鼎的王院士,邀请加入龙科院的时候,苏莹雪更是打心底里替林凡感到高兴。
“林凡!这上面说你被王院士看中了,是不是以后我就能借口给你做饭,去龙科院里面逛一逛了?”