【章036】5纳米光刻机,没有卖的,那就自己做!

如果其他国家拥有的科研技术优势,龙国也有,那就不会被其他国家的科研机构,实施技术封锁了。

想到这些,林凡再次打开了那款咸鱼app,仔细端详着那笔订单详情。

euv-MX-9000,技术指标:7纳米……

“不够!”

“这些还远远不够!”

“只是七纳米的制程工艺,还不足以打破国外科研机构,在这项领域,长期形成的技术优势!”

林凡将这批光刻机的性能指标反复看了几遍,摇头道。

时至今日,7纳米的制程工艺,只能让龙国在光刻机的问题上,实现从无到有的地步。

想要在这一领域变得更好,甚至追平国外,还需要蚀刻精度更高的光刻机!

早在去年,林凡就听说国外已经开始研发5纳米技术指标的euv光刻机了。

想要抹平龙国在这一领域,与国外科研机构的技术差距,至少要将目光看向5纳米,甚至更高的蚀刻精度!

返回咸鱼首页,林凡直接在搜索框里输入光刻机这三个字,点击搜索。

顿时,一整页关于光刻机的商品信息,就出现在了林凡眼前。

【处理一批工作室淘汰的euv光刻机,可批发,可零售,标价99,0人想要!】

【光刻机一台,euv的,制程工艺10纳米,不保证能用!标价29,0人想要!】buwu.org 梦幻小说网

【老旧的euv光刻机一台,从仓库翻出来的,不知道能不能用,标价33,0人想要!】

【asmt原装光刻机,标价45,0人想要!】

往下一划,还有更多关于光刻机的商品信息。

林凡随便翻了一下,发现这些卖家出售的二手光刻机,最高就只有7纳米的制程工艺。

再往下看,又是一些熟悉的商品信息,有很多都是刚才看过的。

显然,之前首页推荐的那条信息,就是在这上面,能够买到的制程工艺最高的光刻机了。

林凡又试着通过品类筛选进行查找,还是没有找到比7纳米工艺更高的二手光刻机。

既然这上面没有卖的,那就只能自己动手造了!

说干就干。

林凡拿出纸笔,在纸上列举了光刻机最核心的几个部件。

激光器。

光罩。

扫描镜。

等离子体控制器。

系统控制器。

这五个部件是组成一台光刻机的关键!

这五大难点当中的三个,都是曾经斩获喏贝尔奖的前沿科技!

难度可见一斑!

激光器的功率要大!

光罩需要尽可能的没有瑕疵!

扫描镜需要极高的反射率!

等离子体控制器需要足够精准!

系统控制器需要绝对安全、稳定!

然而,这些还都只是问题的一部分。

一台完整的光刻机,需要用到两万多个零件。

在国外科研机构针对龙国实施技术封锁的情况下,想要造出一台光刻机,就需要具备自主研发并生产这两万多个零部件的能力!

这无异于从零开始!

也就是说,林凡不仅要解决最核心的五大难题,还要解决所有与之相关的问题。

也只有这样做,才能造出一台属于自己的高分辨力光刻机!

对此,林凡虽然有着一定的心理准备,但他也不得不承认,想要做到这样一件事情,难度丝毫不亚于建造一艘十万吨级的核动力航母!

好在林凡前世也曾参与过研制中子弹的项目计划,在那片一望无际的大漠之中,林凡磨练出了远超常人的意志与魄力,尽管他仍会对某些事情感到棘手,但从那以后,他再也不曾轻言放弃。

这是他们那一代的科研工作者们,共同拥有的一种精神!

手握笔尖,在纸上随便写写画画了一阵子后,林凡在脑海当中,确定了自己要造的那台光刻机的大致轮廓。

想到卖家或许可以提供一份现成的光刻机设计图纸,以供参考,林凡当即拿起手机,给卖家发了一条消息。

【能不能发我一份宝贝的设计图纸?】

【亲,这个当然可以,你等我找一下,我这就发给你。】

过了一会儿,卖家就将那批7纳米的光刻机设计图纸,通过拍照的方式,发了过来。

得到那批光刻机的设计图纸之后,林凡粗略的对比一下,并在脑海当中稍微做了一些修改。

等到感觉差不多了,林凡重新铺上一张白纸,将自己设想的那台光刻机的轮廓,简略的画了出来。

从外形上看,像是一个方方正正的柜子。

但这只是完成了第一步。

相当于给自己想要设计的那台光刻机,打了一份底稿。

仅此而已。

接下来,林凡还要想办法解决那五大核心问题。

首先是一台大功率的激光器。

这里可以取巧,毕竟龙国科学界在激光领域取得的技术成果,也不算小。

但要如何将其转化成光刻机可以使用的大功率激光器,需要一定的创造力,以及一定的想象力。

林凡想了很久,觉得可以利用龙科院最新研发的激光武器,稍微做点修改,将其调整为光刻机可以使用的大功率激光器。

但这里还牵扯到另一个问题,那就是光源。

光刻机上面使用的光源,大致可以分为四种。

第一种,可见光源,又名g线。

第二种,紫外光,又名i线。

第三种,深紫外光,又名krf。

第四种,极紫外光,又名euv。

前三种的光线分辨力都很差,大多都在200纳米到400纳米之间。

只有极紫外光可以达到5纳米以上的光线分辨力!

“不行,得推倒重做。”

想到这里,林凡摇了摇头。

军用的大功率激光器,并不具备自己所需的光线分辨力。

苦思冥想了一阵子,林凡忽然意识到,龙科院之前研制的‘龙光源’,可以发出极紫外自由电子激光脉冲。

并且,单个皮秒激光脉冲,能够产生140万亿个光子。

以此稍微修改一下,做为大功率激光器,还是可以的。

然后是光罩,又名光掩膜版,或是掩膜版。

在制作集成电路的过程中,想要利用蚀刻技术,在半导体上形成图形,并将图形复制在晶圆上,就必须透过光罩。

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