【章044】将硅片送入光刻机,惊动风车国的王立科学院!

【前面的兄弟,记得带上我!】

【还有我!咱们一起干票大的!试试能不能让小约翰收录到硬核狠人系列!】

【算我一个!我也要去!】

【我也要!】

【邢啊你们,你们是真不怕被警察蜀黍铐起来啊?】

【沙雕网友一天天的,净想这些没用的,关键时刻还得看我永恒!我直接跑到人家企业生产基地开直播!】

【好家伙,我直呼内行!】

【行了行了,还是先别想这些了,接着看直播吧,主播还没告诉我们下一步该干什么呢。】

“兄弟们,我休息好了,咱们继续!”

“将掩膜版送入设备之后,我们就可以准备装载晶圆了。”

“首先,我们需要一块成品晶圆。”

“晶圆是什么,大家都知道吧?”

“就是制作半导体电路需要用到的硅晶片。”

“它的原始材料是硅。”

“高纯度的多晶硅在溶解之后,掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅,再经过淹没、抛光、切片之后,就能成为我们需要成品晶圆了。”

“这一步我们直接跳过,用王院士从龙科院带来的成品晶圆,直接省略制作晶圆的过程。”buwu.org 梦幻小说网

“看好了,首先我们需要将设备里的传输滑块拉出,然后将晶圆放入定位销指定的位置上面,按下‘enter’键,进行确定,此时,晶圆将会被设备里的真空环境,完全吸住。”

“然后,我们打开这台设备上的监视器,并打开显微镜照明光源,以及红外光源!”

话音刚落,三种不同亮度的光源,分别映入众人的视野当中。

【卧槽!兄弟们我突然燃起来了!】

【怎么办,万一这真是一台光刻机该怎么办?好紧张!好激动!】

【感觉这好像真的是一台可以使用的光刻机!】

【主播演示的也太到位了吧!】

【有没有一种可能,这其实就是一台货真价实的光刻机?】

【感觉这就是一台光刻机!不然主播没可能装的这么像的!】

【主播都被纳入龙科院了,没必要为了一点节目效果骗我们吧?】

【难说!】

看到直播观众们的议论纷纷,林凡笑了笑,没有正面回答这一问题。

毕竟,继续保持直播内容的话题度,才是热度暴涨的关键!

这可是直播行业的流量密码。

至于为什么要这样做。

一方面是为了钱。

另一方面,林凡是想通过这种方式,引起一些人的注意。

“直播间的兄弟们,接下来就是见证奇迹的时刻了!”

“让我们把设备上面的显微镜系统,移动到标有‘align’字样的位置,然后调节显微镜的位置、焦距、放大倍率以及CCD的增益,直到我们可以通过监视器的屏幕,看清掩膜版上的图形纹路。”

“接着,我们将硅片位置,微调到,与掩膜版完全对齐!”

“紧接着,我们找到控制面板山,标有‘contact’字样的真空度数阀门,将真空度数调整到需要的值,这里我们直接调整到负5。”

“然后,我们打开‘contact-vacuum’开关,让硅片和掩膜版紧密接触在一起。”

“记住,如果需要进行超高进度的曝光,此时可以关闭‘substrate-vacuum’开关。”

“最后,我们把显微镜系统,移回到‘home’位置。”

“打开汞灯电源,此时,电压会指示到最大数值,不必惊慌,按住‘start’键,大约5秒之后,触发汞灯,并检查设备风扇是否正常运转,如果触发成功,我们会看到电压回到十伏左右的位置。”

“如果不成功,那我们就先关闭电源,等一分钟之后,再次打开,并重新触发。”

“这里需要注意一点,一次触发时间不能超过十秒,否则就有可能损坏电源!”

“触发成功后,十分钟之内不得再次打开汞灯,否则也是一样。”

“好了,现在我们已经成功触发了汞灯!”

“接着我们再找到一枚标有‘set’字样的旋钮,将汞灯亮度和功率,调节到合适的区间,这里我推荐大家调节到ch-a15mw/每平方厘米。”

“趁现在,打开左侧控制面板上的曝光控制电源按钮,设定所需的曝光时间,等到汞灯预热8分钟后,开始曝光!”

讲到这一步的时候,林凡不自觉的加快了语速。

“曝光分为两种方式。”

“第一种是全自动,这里我们需要把‘auto-exposure’开关打开,并把右侧控制面板上的‘home’开关,拨到‘exposure’位置,这样,曝光系统就会自动移动到硅片上方,并自动设定曝光时间。”

“第二种是半自动,同样要先找到‘auto-exposure’开关,将其关闭,然后在将右侧控制面板上的‘home’开关,拨到‘exposure’,再用‘auto-exposure’按钮打开曝光系统,手动设定时间。”

“以上这两种方式,都可以通过这枚‘stop’按钮,中止曝光,并重置计时器。”

话音未落,林凡将手放在了设备一侧,身形挺得笔直,满心激动的盯着监视器屏幕上的图像。

事实上,整个操作流程,进行到这一步的时候,芯片加工环节就已经完成了。

“瑟尔!情况好像有点不对!昨天那位名叫林凡的龙国少年,好像是在鼓捣一台光刻机,据说是7纳米制程工艺的euv光刻机!”

远在万里之外的风车国。

一名秘书惊慌失措的闯入王立科学院内的会议室里,无比急促道。

“沃特?!”

“你说什么?龙国怎么可能会有7纳米制程工艺的euv光刻机?!”

“你确定你没看错?”

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